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四端子壓實密度電阻率測試儀

四端子壓實密度電阻率測試儀 ；適用行業：:

用于：企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 ；A.S.T.M ；標準。

適用范圍

● ；使?四探針治具測試?狀或塊狀半導體材料、?屬涂層以及導電薄膜等材料的?阻和電阻率

● ；使?開爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻；

原理： .

. 核心：開爾文四線法（四端子法） . ：

一對電極（C1， ；C2）施加恒定電流（I）。

另一對電極（P1， ；P2）位于接觸界面附近測量電壓降（V）。

. 接觸電阻 ；Rc = V / I .  ；（消除了引線電阻和部分體電阻）。

. 專用夾具： .  ；精確控制接觸壓力（通過砝碼、氣動、伺服電機），穩定固定樣品。

. 微電流/電壓測量： .  ；使用精密源表（SMU）或微歐計提供穩定電流（通常幾mA~幾A），測量 ；μV ；級電壓。

. 接觸電阻率（ρc）估算難點： .

. 有效接觸面積（A）未知： .  ；宏觀接觸是多個微觀接觸點的集合，真實 ；A ；遠小于表觀面積。

. 解決方法： .

在 . 不同可控壓力下 . 測量 ；Rc（壓力↑ → ；接觸點數量/面積↑ → Rc↓）。

結合 . 接觸力學模型 . （如 ；Holm ；模型）估算平均接觸面積（復雜，多為研究用）。

. 工業實踐通常直接報告接觸電阻（Rc）值及其測試條件（壓力、電流） . ，作為可靠性指標。ρc ；較少直接報告。

參數

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學，直觀使用；

2. 基本設置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導率和分選結果；多種參數同時顯示。

3. 精度高：電阻基本準確度： 0.01％；

方阻基本準確度：1%；

電阻率基本準確度：1%

4. 整機測量最大相對誤差：≤?1%；整機測量標準不確定度：≤?1%

5. 四位半顯示讀數；十量程自動或手動測試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ ；10檔分選；實現HIGH/IN/LOW分選

6. 測量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10 8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10 8Ω/□；

7. 正反向電流源修正測量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關可一直處于開的狀態。

9. 可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。

10. 校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。

11. 厚度可預設，自動修正樣品的電阻率，無需查表即可計算出電阻率。

12. 自動進行電流換向，并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量，顯示平均值.測薄片時，可自動進行厚度修正。

13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩定性好.

14. 具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細的分選結果。

16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

17. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數據；可供用戶對數據進行各種數據分

析。

18.顯示語言 英文/中文

19.供電模式110v/220v

半導體接觸電阻率（ρc）： .

. 必須制備 ；TLM ；或 ；CBKR ；測試結構（光刻）。 .

. 核心儀器：半導體參數分析儀（Keysight B1500A/B1505A， Keithley 4200A-SCS） ；  ；精密探針臺。 .

. 宏觀接觸電阻（Rc）測量（連接器、開關等）： .

. 核心方法：開爾文四線法（消除引線電阻）。 .

. 核心設備： .

. 高精度源表（SMU）如 ；Keithley 2450 ；或精密微歐計（如 ；IET RMO）。 .

. 專用的、符合標準（如 ；EIA-364-23C）的接觸電阻測試夾具（關鍵！需精確壓力控制）。 .

. 工業質檢首選： .  ；考慮集成化的專用接觸電阻測試儀（如菊水PCR）。

. 報告 ；ρc ；的挑戰： .  ；宏觀接觸中，有效接觸面積難以精確測定， . 直接報告 ；Rc ；及其測試條件（壓力、電流）是工業通行做法 . 。需 ；ρc ；時通常限于微觀可控結構（如半導體）或研究場景。

. 選擇前務必詳細說明：測量對象（具體是什么接觸界面）、目標參數（Rc/ρc）、精度要求、壓力范圍、是否需要符合標準以及預算范圍。這將有助于推薦最合適的儀器配置（硬件 夾具）。

范圍：

1本試驗方法包含直流絕緣電阻，體積電阻和表面電阻的測量所用直流程序。通過該測量及樣本和電極的幾何尺寸，可以計算出電絕緣材料的體積電阻和表面電阻，同時還可以計算出相應的電導和電導率。

2這些試驗方法不適用于測量中等導電材料的電阻/電導。這些材料評估可采用試驗方法D4496。

3本標準描述了幾種可選擇的測量電阻（或電導）的普通備用方法。特殊材料科采用合適的標準ASTM試驗方法進行測試，這些特殊材料具有電壓應力范圍和有限起電時間，同時規定了樣本結構和電極幾何形狀。這些個別特殊試驗方法將能更好得定義測量值的精度和偏差。

4本標準并沒有完全列舉所有的安全聲明，如果有必要，根據實際使用情況進行斟酌。使用本規范前，使用者有責任制定符合安全和健康要求的條例和規范，并明確該規范的使用范圍。

電導率與電阻的關系

R=ρl=l/σ

(1)定義或解釋 電阻率的倒數為電導率。σ=1/ρ (2)單位: ；在國際單位制中，電導率的單位是西門子/米。 ；(3)說明 電導率的物理意義是表示物質導電的性能。電導率越大則導電性能越強，反之越小。

測量原理與方法： .

四探針法： .

最主流、最推薦的碳素材料塊體/薄膜測試方法。 .

優點： .  ；有效消除接觸電阻和引線電阻的影響，測量精度高，尤其適合中等電阻率材料（碳素材料大多在此范圍）。

缺點： .  ；需要樣品表面平整，探針間距需精確（或已知），邊緣效應需修正（尤其是小樣品）。

類型： .  ；直線四探針（最常用）、方形四探針（范德堡法，適合不規則薄片）。

兩電極法 ；  ；四線制： .

在樣品兩端施加電流電極，在更內側測量電壓電極。

優點： .  ；接線相對簡單，可通過四線制消除引線電阻影響。

缺點： .  ；電流分布不如四探針均勻，接觸電阻仍可能對電壓測量點有影響（盡管四線制已大幅降低），精度通常低于四探針法。適用于電阻率較高或較低，或形狀受限的樣品。

非接觸法（渦流法）： .

優點： .  ；完全無損，無需接觸樣品，速度快，適合在線或快速篩查。

缺點： .  ；測量精度通常低于接觸法（尤其對薄層或復雜形狀），需要校準標準樣品，測量的是“等效電阻率”，受材料磁導率、厚度、表面狀況影響較大。更適合均勻導體（如金屬箔）。

阻抗分析法： .

施加交流信號，測量復數阻抗。

優點： .  ；可以區分材料的電阻分量和電容/電感分量（對某些復合碳材料有用），可選擇合適頻率避免極化效應。

缺點： .  ；儀器更復雜，數據分析更復雜，主要用于研究而非單純電阻率測量。

金屬的電阻率較小，合金的電阻率較大，非金屬和一些金屬氧化物更大，而絕緣體的電阻率極大。鍺、硅、硒、氧化銅、硼等的電阻率比絕緣體小而比金屬大，我們把這類材料叫做半導體(semiconductors)。

總結：常態下（由表可知）導電性能 ；好的依次是銀、銅、鋁，這三種材料是 ；常用的，常被用來作為導線等。銀的價格偏貴，因此銅用的 ；為廣，幾乎所有應用的導線都是銅制作的（精密儀器、特殊場合除外）。鋁線由于化學性質不穩定容易氧化已被淘汰。由于鋁密度小，取材廣泛，且價格比銅便宜，被廣泛用于電力系統中傳輸電力的架空輸電線路。為解決鋁材剛性不足缺陷，一般采用鋼芯鋁絞線，即鋁絞線內部包有一根鋼線，以提高強度。銀導電性能 ；好，但由于成本高很少被采用，只有在高要求場合才被使用，如精密儀器、高頻震蕩器、航天等。在某些場合儀器上觸點也有用金的，因為金的化學性質穩定，并不是因為其電阻率小所致。

以下是關于高溫電阻率測試儀的綜合信息整理：

一、主要功能與技術特點

. 測量原理 . ：普遍采用三電極法設計，符合《GB/T 10518-2006》標準，可測量絕緣材料在高溫下的電阻和電阻率，適用于陶瓷、硅橡膠、PCB等材料。

. 溫度范圍 . ：部分型號支持-160℃至1000℃寬溫域測試，控溫精度可達?0.5℃。

. 安全設計 . ：具備過壓、過流、超溫保護及斷電數據保存功能，確保測試安全性和數據完整性。

. 抗干擾能力 . ：采用三軸連接器和屏蔽技術，測量分辨率高達1fA（10^-15 A）。

二、典型應用場景

. 材料研究 . ：半導體材料（如硅、砷化鎵）、絕緣材料（云母、四氟材料）的電阻率隨溫度變化分析。

. 工業檢測 . ：耐火材料、碳素制品的高溫導電性能評估

選購建議

. 科研需求 . ：優先選擇支持變溫、恒溫模式及數據曲線分析的型號（如HTIM系列）。

. 工業場景 . ：注重設備耐用性和環境適應性（如德力西接地電阻測試儀，耐高溫設計）電商榜單^。

品質保證：

一年保修，終身維護！

北廣產品銷往北京、上海、廣東、河南、浙江、河北、江蘇、湖南、內蒙、山東、四川、廣州、江西、西北、云南、深圳、吉林、南京、嘉興、佛山、蘇州、杭州、西安、潥陽、長春、江蘇、平頂山、安徽、金水、金華、海南、廊坊、天津、成都、揚州、東莞、濟南、南通、株洲、保定、貴州、宜興、嘉興、黑龍江、漳州、成都、重慶、咸陽、濟南、紹興、杭州、拉薩、山西、惠州、滄州、江西、沈陽、武漢、沈陽、昆明、鶴山、許昌、青海、寧波、醴陵、淄博、瑞安、阜新、合肥、長沙、常州、瑞安、青島、無錫、濟寧、醴陵、廈門、河源、樂清、煙臺、福州、龍口、徐州、唐山等地銷售。

注意事項1、該儀器初始的包裝材料需小心保存，安裝需由本公司的專業技術人員進行操作。2、若儀器由于任何原因必須返修，必須將其裝入原紙箱中以防運輸途中損壞。3、在開機前，操作者要首先熟悉操作方法。

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